矽的氣態氫化物是什麼

日期:2024-08-07 分類:綜合百科 投稿:zhao

最佳答案 矽烷作為一種提供矽組分的氣體源,可用於製造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。

矽的氣態氫化物是什麼

1、矽的氣態氫化物為矽烷;

2、矽烷是一系列化合物的總稱,包括甲矽烷 、乙矽烷和一些更高階的矽氫化合物。目前應用最多的是甲矽烷。一般把甲矽烷簡稱做矽烷。矽烷作為一種提供矽組分的氣體源,可用於製造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。 因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他矽源無法取代的重要特種氣體。矽烷廣泛應用於微電子、光電子工業, 用於製造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 並且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度矽的中間產物。