矽的氣態氫化物
最佳答案 甲矽烷廣泛應用於微電子、光電子工業， 用於製造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 並且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度矽的中間產物。
矽的氣態氫化物是甲矽烷。
甲矽烷作為一種提供矽組分的氣體源，可用於製造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。
甲矽烷廣泛應用於微電子、光電子工業， 用於製造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 並且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度矽的中間產物。
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